E&R Engineering покажет на SEMI West 2026 лазерную платформу для оптики CPO с точностью сверления ±0,5 мкм

Тайваньская E&R Engineering Corp. (TPEX: 8027), специалист по лазерному и плазменному оборудованию для полупроводниковой промышленности, покажет на выставке SEMI West 2026 свои последние прорывы в прецизионной лазерной обработке. Мероприятие пройдёт 13-15 октября в Moscone Center в Сан-Франциско, стенд компании - South Hall, Hall C, 2153. Ключевая разработка - пятиосевое лазерное сверление для волоконно-оптических матриц (FAU) с точностью ±0,5 мкм, нацеленное на растущий спрос на высокоплотные оптические компоненты для высокоскоростной оптической связи и Co-Packaged Optics (CPO). Разработка сфокусирована на 2D-конфигурациях FAU с полосой пропускания 3,2 Тбит/с, 6,4 Тбит/с и 12,8 Тбит/с.

Комбинируя пятиосевое лазерное управление, точное позиционирование и микромеханическую обработку, решение достигает точности сверления ±0,5 мкм и поддерживает различные геометрии отверстий и углы обработки. Помимо FAU, E&R предлагает сквозной портфель обработки для передовых 2.5D/3D интегральных схем и высокоплотных подложек: высокоточное лазерное сверление с точностью ±5 мкм при соотношении глубина/диаметр глухих отверстий до 90%, высокопроизводительную многолучевую лазерную маркировку с точностью ±25 мкм, контролируемую термическую лазерную резку и канавки ABF. Дополняют картину плазменные системы со стабильностью процесса CPK выше 1,33 для очистки и активации поверхностей.

Интеграция лазерного дебондинга в рабочие процессы корпусирования вместе с плазменными системами высокой стабильности даёт платформу сквозной интеграции процессов, поддерживающую заказчиков на всём пути от валидации на этапе НИОКР до полномасштабного производства. Отдельный акцент компания делает на региональной поддержке в США: сервисные команды в Портленде, Аризоне и Техасе обеспечивают быстрое реагирование, удалённую диагностику и адаптированную техническую поддержку, что сокращает простои, оптимизирует выход годной продукции и ускоряет вывод решений на рынок для североамериканских партнёров по полупроводниковой отрасли.